Nagy sűrűségű tárolás, Nagy helykihasználás, A magasság teljes kihasználása

Automatizált anyagszintű oktató tesztelés

Gyors végrehajtás

Magas helykihasználás

Félvezető gyártástervezés


Alkalmazás bemutatása
Automatizált anyagtárolás és -kezelés a félvezetőgyártásban
Vonatkozik a következőkre:
1. Nagy sűrűségű tárolás, nagy helykihasználás, a magassági tér teljes kihasználása
2. Gyors ütem
3. Integrálva a gyártóüzem anyaggazdálkodási rendszerébe
4. Gyors megvalósítás, automatikus szintfelmérő teszt
5. Kompatibilis az ARV/OHT/OHS/kézi és egyéb automatikus folyamatokkal
6. Megfelel a Cleanroom ISO14644-14, a SEMI S2 és az ESD szabványoknak

funkció bevezetése
* Félvezető online tárolásra használják, támogatja a FOUP-ot, a CASSETTE-t, a magazint, a tálcát és másokat
* ARV-vel dokkolható, támogatja a kézi be- és kirakodást
*Megfelel a tisztatéri ISO14644-14, a SEMI S2 és az ESD szabványoknak
*Standard SEMI szoftverinterfész
*Moduláris kialakítás



4. blokk. No.358 Jinhu Road, Pudong District, Shanghai, Kína